【文献を紹介してください】MOCVDを使ってGaNの薄膜を作ることになったのですが、MOCVDについて詳しく知りたいです。もしCVD・MOCVD関連での名著やお勧めの本がありましたらご教授下さい。英語文献でも構いません

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回答(3件)

id:aki73ix No.1

aki73ix回答回数5224ベストアンサー獲得回数272004/05/01 11:49:34

ポイント60pt

http://www.amazon.com/exec/obidos/tg/detail/-/0127521666/002-401...

Amazon.com: Gallium-Nitride (GaN) II, Volume 57 (Semiconductors and Semimetals) (Vol 57) (9780127521664): Theodore D. Moustakas, Jacques I. Pankove, Robert K. Willardson, Eicke R. Weber: Books

あまりないですねェ・・・

http://www.amazon.com/exec/obidos/tg/detail/-/0127521585/002-401...

Amazon.com: Semiconductors and Semimetals Volume 50: Gallium Nitride (Gan) I (9780127521589): Theodore D. Moustakas, Jacques I. Pankove, Robert K. Willardson, Eicke R. Weber: Books

結構高額です・・^^;

GaNの薄膜の関連サイト

http://www.jsap.or.jp/ap/2001/ob7002/p700178.html

OYO BUTURI, Vol.70, No.2, p.178-182 (2001)

和著です

ちなみに参考

ちょっと回答から外れますがMOCVD法は量産に適さないということで、こういう方法もあるそうです

id:Xenos

ご紹介有難う御座います。

GaN2は図書館に二冊も配備されていたようなのでかなり有名なのですね。早速確保させていただきます。

私としてはGaNよりもCVDの方についてより詳しく知りたいので、CVDについての文献も挙げていただけると助かります。

2004/05/01 12:46:46
id:kuippa No.2

くいっぱ回答回数1030ベストアンサー獲得回数132004/05/01 12:52:14

ポイント30pt

研究秘話ですね。ZnSe…、そぉいえば工業化学でそんなんあったなぁ…

私は、GaNの専門家ではないので餅は餅屋ということで…

文献の重要度を調べるときは、引用文献から親を当っていくのが常道です。

研究目的であれば、同様の研究をされている方にメールを出して聞くというような事をお奨めします。専門情報は共有しあい、フィードバックしてこそ、良い情報が入ってきます。

id:Xenos

ご紹介有難う御座います。

> カリフォルニア大学サンタバーバラ校工学部中村修二教授 特別講演の記録

やはり、実験=装置作りということを思い知らされました。今後はマシンいぢりにも積極的に参加したいですね。

> 白色LED照明システム技術の応用と将来展望

価格が一桁違ってるような気がするのは私だけでしょうか?(w

でもまさに私が知りたい目次が載ってますね。

有難うございました。

> 引用文献から親を辿るのが常道

それをやりたいのですが、院試やら、ゼミの試料作成やらで、そこいら辺のことを調べる時間がもったいないのです。ご理解ください。

2004/05/01 16:06:23
id:aki73ix No.3

aki73ix回答回数5224ベストアンサー獲得回数272004/05/01 13:18:31

ポイント60pt

http://www.science-forum.co.jp/books/0247.htm

書籍:強誘電体メモリ先端プロセス(0247)

では、和書を中心に

http://www.science-forum.co.jp/books/0204.htm

書籍:強誘電体薄膜メモリ(0204)

Cat-CVD中心ですがMOCVDにも触れています

http://bookweb.kinokuniya.co.jp/htm/4860430190.html

薄膜作製応用ハンドブック: 紀伊國屋書店BookWeb

有名だと思いますが一応あげておきます

http://www.amazon.com/exec/obidos/tg/detail/-/1558992340/002-401...

Amazon.com: Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of Electronic Ceramics: Symposium Held on November 29-December 3, 1993, at Boston, Massachusetts, U.S.A, V (Materials ... Society Symposia Proceedings, V. 335.) (9781558992344): Seshu B. Desu, Mass.) Materials Research Society Meeting (1993 Boston, David B. Beach, B. W. Wessels, S. Gokoglu: Books

MOCVDに特化した本(洋書)

id:Xenos

有難う御座います。

やはり、MOCVDだけで検索すると洋書が出てくるか、学生じゃ手が出ないような価格の本しか出てこないようですね。

図書館で一から調べ直してみます。

2004/05/01 16:26:57

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