MRAMは、エピのプロセスなのですか?だとしたら、なぜエピなのかを教えてください。

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回答(2件)

id:hate218 No.1

hate218回答回数189ベストアンサー獲得回数02005/07/06 18:21:40

ポイント1pt

チャネル厚さがエピ成長厚さで決まるため

id:youkan_ni_ocha

単に平坦であればOKなのでは?

2005/07/06 19:22:10
id:thrillseeker No.2

thrillseeker回答回数328ベストアンサー獲得回数372005/07/07 00:45:37

ポイント49pt

MRAM素子はバリア層と言われる薄い絶縁膜を電子が通過するトンネル効果で動作します。昔はバリア層にアルミナなどをスパッタで製膜したアモルファス膜を使っていましたが、URLにあるようにMgOのような単結晶膜を使うことで性能が飛躍的に上がることが最近分かりました。

id:youkan_ni_ocha

絶縁層の結晶の方向性も特性に大きく影響するという認識でよろしいでしょうか。湯浅氏の論文を見ると、メタル層をエピにして、成長方向を変えると、シグナルが方向により大きく変化したというのは、電総研の古い論文で見ました。

2005/07/07 23:35:52

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