固体材料の断面に沿った密度を測定したいのですが、何か適当な装置はありませんか。

できれば光学的な装置が最もですが、よろしく教えてください。

回答の条件
  • 1人2回まで
  • 登録:2008/12/15 23:27:45
  • 終了:2008/12/22 23:30:02

回答(3件)

id:zyugem No.1

じゅげむ回答回数142ベストアンサー獲得回数162008/12/16 02:36:03

ポイント27pt

光学からは少しずれますが,X線を使ったXRRという測定方法で固体表面の密度評価ができます。

XRRは、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その入射角対鏡面方向に反射したX線強度プロファイルを測定します。この測定で得られた結果をシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を算出する手法です。

(財) MST - 材料科学技術振興財団 | XRR (X線反射率法) | 分析技術解説

測定装置はキヤノンやリガクが出しています。主に半導体プロセスでウェハの評価に利用されるようです。

キヤノン:半導体機器 膜厚測定装置 | JVX6200 概要

プロセスX線膜厚・密度測定装置 【リガク】

測定を請け負ってくれる企業がいくつかあります。

表面分析受託サービス XRR X線反射率測定 ナノサイエンス

X線反射率測定(XRR)などの表面分析受託サービス【ナノサイエンス株式会社】

id:yamadakouzi No.2

yamadakouzi回答回数296ベストアンサー獲得回数62008/12/16 09:24:16

ポイント27pt

コメント欄が開いてませんので、コメント扱いでおねがいします。

「光学的な装置が最もですが」とありますが、その材料は無色透明でしょうか。ならば光の干渉が使えると思います。そうでなければ(透明でも)超音波装置を使えば可能でしょう。

id:yamadakouzi No.3

yamadakouzi回答回数296ベストアンサー獲得回数62008/12/16 09:27:18

ポイント26pt

コメント欄が開いてませんので、コメント扱いでおねがいします。

「光学的な装置が最もですが」とありますが、その材料は無色透明でしょうか。ならば光の干渉が使えると思います。そうでなければ(透明でも)超音波装置を使えば可能でしょう。

コメントはまだありません

この質問への反応(ブックマークコメント)

「あの人に答えてほしい」「この質問はあの人が答えられそう」というときに、回答リクエストを送ってみてましょう。

これ以上回答リクエストを送信することはできません。制限について

絞り込み :
はてなココの「ともだち」を表示します。
回答リクエストを送信したユーザーはいません