こんにちわ。知識をお持ちの皆様教えてください。

現在大学の研究で、炭化ケイ素(4H-SiC)の精密研磨（CMP）を行おうとしています。しかし、ぜんぜん削れません！
そこで、下の悩みを解消させてください！

１．CMPの特にスラリーで何か製品ってありますか？（何タイプかほしいです）
２．多分、SiCを酸化して削るんでしょうけど、酸化以外に方法はありますか？
３．共有結合は何故、酸化で切れるんですか？
４．他の共有結合材料はどのように薬品と反応して、溶けたりするんでしょうか？

それぞについて、わかる範囲でけっこうですので、ぜひ教えてください！お願いいたしますm(__)m