こんにちわ。知識をお持ちの皆様教えてください。


現在大学の研究で、炭化ケイ素(4H-SiC)の精密研磨(CMP)を行おうとしています。しかし、ぜんぜん削れません!
そこで、下の悩みを解消させてください!

1.CMPの特にスラリーで何か製品ってありますか?(何タイプかほしいです)
2.多分、SiCを酸化して削るんでしょうけど、酸化以外に方法はありますか?
3.共有結合は何故、酸化で切れるんですか?
4.他の共有結合材料はどのように薬品と反応して、溶けたりするんでしょうか?

それぞについて、わかる範囲でけっこうですので、ぜひ教えてください!お願いいたしますm(__)m



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  • 登録:2009/07/22 09:37:05
  • 終了:2009/07/29 09:40:02

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