現在大学の研究で、炭化ケイ素(4H-SiC)の精密研磨(CMP)を行おうとしています。しかし、ぜんぜん削れません!
そこで、下の悩みを解消させてください!
1.CMPの特にスラリーで何か製品ってありますか?(何タイプかほしいです)
2.多分、SiCを酸化して削るんでしょうけど、酸化以外に方法はありますか?
3.共有結合は何故、酸化で切れるんですか?
4.他の共有結合材料はどのように薬品と反応して、溶けたりするんでしょうか?
それぞについて、わかる範囲でけっこうですので、ぜひ教えてください!お願いいたしますm(__)m
酸化クロムと過マンガン酸カリウムで結構削れるそうです:
http://sucra.saitama-u.ac.jp/modules/xoonips/download.php?file_i...
回答者 | 回答 | 受取 | ベストアンサー | 回答時間 | |
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1 | suppadv | 3552回 | 3356回 | 268回 | 2009-07-23 21:13:02 |
コメント(2件)
難しすぎ(質問が、、)
単に堅い物の研磨にはダイヤ(もちろん工業用)を使うんだけど、、、
(水晶なんかはこれで磨く)
炭化珪素?ウエハーって事なんかな?
知らねぇって、、、w
共有結合ってイオン結合の事だっけかな?
イオン、つまり電子を共有して分子構造ができているので、酸化でイオンを奪う
(あれ?与えるのか?)
と結合も切れる、、、
で、いいんじゃないかなぁ・・・
つうか、酸化珪素になるっつう事は炭化珪素じゃなくなるっていう事で、、
もちろん、その場合は、他の分子ならイオンを奪うなり増やすなりで
元の結合より強い結合状態になれば、元の結合は壊れるんだと思うよ、たぶん。
だから、わかんな~い、w