こんにちわ。知識をお持ちの皆様教えてください。


現在大学の研究で、炭化ケイ素(4H-SiC)の精密研磨(CMP)を行おうとしています。しかし、ぜんぜん削れません!
そこで、下の悩みを解消させてください!

1.CMPの特にスラリーで何か製品ってありますか?(何タイプかほしいです)
2.多分、SiCを酸化して削るんでしょうけど、酸化以外に方法はありますか?
3.共有結合は何故、酸化で切れるんですか?
4.他の共有結合材料はどのように薬品と反応して、溶けたりするんでしょうか?

それぞについて、わかる範囲でけっこうですので、ぜひ教えてください!お願いいたしますm(__)m

回答の条件
  • 1人3回まで
  • 登録:2009/07/23 19:38:28
  • 終了:2009/07/30 19:40:02

回答(2件)

id:thrillseeker No.1

thrillseeker回答回数328ベストアンサー獲得回数372009/07/29 00:37:58

ポイント10pt

酸化クロムと過マンガン酸カリウムで結構削れるそうです:

http://sucra.saitama-u.ac.jp/modules/xoonips/download.php?file_i...

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 回答者回答受取ベストアンサー回答時間
1 suppadv 3552 3356 268 2009-07-23 21:13:02
  • id:seble
    無理だって、
    難しすぎ(質問が、、)
    単に堅い物の研磨にはダイヤ(もちろん工業用)を使うんだけど、、、
    (水晶なんかはこれで磨く)
    炭化珪素?ウエハーって事なんかな?
    知らねぇって、、、w

    共有結合ってイオン結合の事だっけかな?
    イオン、つまり電子を共有して分子構造ができているので、酸化でイオンを奪う
    (あれ?与えるのか?)
    と結合も切れる、、、
    で、いいんじゃないかなぁ・・・
    つうか、酸化珪素になるっつう事は炭化珪素じゃなくなるっていう事で、、
    もちろん、その場合は、他の分子ならイオンを奪うなり増やすなりで
    元の結合より強い結合状態になれば、元の結合は壊れるんだと思うよ、たぶん。
    だから、わかんな~い、w
  • id:suppadv
    自信はあったのですが・・・・。残念です。

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