ドレスト光子によるリソグラフィーがあるのですが、実際に生産につかわれているのでしょうか? 回答は、実際に半導体等の製造が行われている情報を御願いします。一般的なドレスト光子の情報はすでに入手してるので、不要です。ドレスト光子については、最近、本がでています。http://www.amazon.co.jp/dp/425421040X/

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回答(1件)

id:holoholobird No.1

holoholobird回答回数574ベストアンサー獲得回数1042013/05/06 22:35:34

ポイント100pt

googleでdressed photon semiconductor Lithography等をキーワードの核としてgoogle USAを中心に英語圏のサイトを中心に検索してみました。

dressed photonが半導体に使用できるという論文は散見されますが、実際に使用・製造されているという情報は見当たりませんでした。
http://www.springer.com/cda/content/document/cda_downloaddocument/9783642174803-c1.pdf

日本国内のページでもドレスト光子を使用した半導体の”製造”が行われているという情報は見つかりませんでしたので、おそらく研究段階のもので製造は行われていないものと思われます。

id:isogaya

文科省のリーディングプロジェクトで、キャノンが製造装置のデモまでやっていますが、だめだったみたいですね。

2013/05/07 01:19:28

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