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*1500ポイント以上用意しています。電子銃による真空蒸着に関する質問です。電子ビームの一部が材料の表面で反射するのですが、主な材料について、この反射するビームの量(例えば、入射したビームのエネルギに対する反射ビームのエネルギの割合)を示した資料を探しています。この手の研究をしている先生(質問したら答えてくれそうな先生)のご紹介でもかまいません。よろしくお願いします。

●質問者: hkt_o
●カテゴリ:科学・統計資料
✍キーワード:ネル ビーム ポイント 先生 真空
○ 状態 :終了
└ 回答数 : 4/4件

▽最新の回答へ

1 ● JEM7
●200ポイント

http://oxide.rlem.titech.ac.jp/~asasaki/jyukenn.html

前回ご質問がアップされたときにも随分調べてみたのですが、なかなかこれという資料が見つかりません。蒸着基材の組成と表面状態(平滑度)にかなり依存すると思われる事と、照射する電子線の周波数や入射角にもよると思うので、標準的な値というものが有るのか、というのが疑問です。

例えばプラスチックフィルムに限れば、HAZE値(曇り度)という基準(JIS K 7136、ISO 14782)が有りますが、これは全光線透過率ですので、反射された光線と吸収された光線の比率が判りません。

ということで、ご要望の回答にはほど遠いと思いますがなかなか回答が付かないようですので私見を述べました。

ポイントは不要です。

http://www.ctiweb.co.jp/cti/convertech_online/

ctiweb〔コンバーテックオンライン〕

この業界紙は主にパッケージを対象とした加工技術情報誌です。もしかしたら過去の記事にお求めの情報が有るかも知れませんので、お問い合わせされては如何でしょう。

◎質問者からの返答

電子銃のシミュレーションをしてみますと、ビームのもっているエネルギーと比較して明らかに材料の蒸発が少ないんですね。もちろん、蒸着材料を入れたるつぼが水冷されているために熱エネルギーが無駄に消えていっているとか、いろいろあります。

さて、目下、一番の問題は何かといいますと、ビームの反射なんです。反射したビームは真空チャンバー内のどこかにぶつかって、所定の蒸着材料以外の物質を蒸発させます。これが不純物となり、しばしば致命的な欠陥をもたらします。

ある角度における反射の値がわかれば、それ以外のケースはある程度予想がつきます。自分で実験して調べればいいのですが、ざっと試算するに装置代抜き、人件費込みで30万円以上を我慢しなければなりません。電子銃による蒸着に関する普遍的問題なので、過去に調べた方がいておかしくないはずなんですよね。企業はデータを隠しますが、大学の先生が何かやっていないかと期待しているわけです。

コンバーテックへの相談、検討してみます。どうもありがとうございました。


2 ● foobarqux
●250ポイント

http://www.techno-qanda.net/dsweb/ViewSavedQuery/SavedQuery-102?...

こちらはいかがでしょう?

◎質問者からの返答

求めるデータには行き当たりませんでしたが、他社技術者の技術相談の内容に関心を持ちました。案外、単純素朴な質問が少なくないのですね。

従来からつきあいのあるところでは電子銃による真空蒸着に関する知見がなかったのですが、これを機会に技術相談の相手を新規開拓していくことを検討します。どうもありがとうございました。


3 ● u_ra_ra
●250ポイント

http://www.tuat.ac.jp/~katsuaki/

SATO LAB's HomePage

東京農工大学の佐藤教授のホームページです。

こちらの『物性なんでもQ&A』(

http://www.tuat.ac.jp/~katsuaki/nandemoQ&A.html

「物性なんでもQ&A」移転のお知らせ

)というコーナーで色々な質問を受け付けていただけるようです。

「酸化物高温超伝導薄膜」の研究をされているようですので質問されている内容に応えることのできる方だと思います。

◎質問者からの返答

なるほど、たいへん参考になりました。

大学の先生はうまくおつきあいできればありがたい存在なのですが、先生もまあ商売ですから、つまらない質問がたいへん高額な研究への出資とセットになってしまうことがままあります。かといって大学が組織として用意している公的な技術相談は不親切なことが多く……というわけで、公開で質問を受け付けている、そして回答実績が豊富な先生をご紹介いただけたのはたいへんありがたいことです。

どうもありがとうございました。


4 ● JEM7
●300ポイント

http://www2.ipdl.jpo.go.jp/begin/be_search.cgi

追伸です。蒸着時の不純物混入という視点で探してみました。

何れもズバリの回答ではありませんが、ご考察のヒントくらいにはなるかも知れません。

上記より「電子線 蒸着 チャンバー」或いは「電子線 蒸着 不純物」などで検索を行うと、かなりの数の特許を見る事が出来ます。

http://www2.ipdl.jpo.go.jp/begin/BE_DETAIL_MAIN.cgi?sType=0&sMen...

例えば上記特許には外因性欠陥(不純物)と内因性欠陥についての考察が含まれています。

今回も質問に対する回答にはなっていませんのでポイントは不要です。

◎質問者からの返答

どうもありがとうございます。特許は私もかなり見まして、正月休みの前後にかれこれざっと1350件ほど目を通しました。興味深い知見は多く得られましたが、なかなか求める資料には行き当たりません。

今後は各所の技術相談を中心に、専門の方に訊ねていく予定です。

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