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LaB6のフィラメントが電子銃による真空蒸着に利用できない理由を教えてください。

●質問者: hkt_o
●カテゴリ:ビジネス・経営 科学・統計資料
✍キーワード:フィラメント 真空 電子
○ 状態 :終了
└ 回答数 : 2/2件

▽最新の回答へ

1 ● will0
●20ポイント

http://konarc.naro.affrc.go.jp/jnews/25/25p06.html

走査型電子顕微鏡の利用に当って

本体の機種…S450LB(日立製)。本機は最も新型の機種で,全国でも未だ数少ないものである。その最も大きな特徴は,電子銃のフィラメントに従来のタングステンフィラメントを使わず,単結晶のランタンヘキサボライトフィラメント(LaB6 フィラメント)を使用している事である。このLaB6フィラメントの特徴は,従来のタングステンフィラメントに比して約10倍の高輝度であり,これによって低加速度電圧でも分解能の良い像をえることができる。またその寿命が長く,2,000時間以上の使用にたえ,フィラメント交換のわずらわしさがないことも1つの利点である。

主な仕様…分解能:50Å。倍率:×20〜×200,000(×1〜×3ズーム付),全自動倍率補正,倍率は画面に自動的に表示される。加速電圧:2〜30KV。試料サイズ:最大直径102mm のものまで観察可能。信号処理操作モード:低倍,高倍の2種類の像を1つの画面に同時表示する装置付,極性反転(白黒反転)機構を有し,スライド作製が客易。走査モード:フルラピッドスキャン・制限視野・スロースキャン(0.5,10,40sec)・フォトスキャン。写真撮影装置:6×7ロールフィルムカメラ,4”×5”ポラロイドカメラ装置。

利用できるみたいですよ?

◎質問者からの返答

電子顕微鏡と異なり、真空蒸着には利用できないのです。LaB6を蒸着にも使えるのなら、従来のタングステンフィラメントとは比較にならないほど、長時間安定した特性を得られるはずなのですが……。


2 ● sasada
●30ポイント

http://www.nhk.or.jp/strl/publica/dayori/dayori9705/rensai-3-j.h...

NHKオンライン

物性は門外漢なのですが、上位URLの、

「六ほう化ランタン(LaB6)は,放電電圧が低いこと,化学的に安定で,電気伝導率も高いことなどの長所をもっている。しかし,Ar,Xeなどの特定のガスを吸収してしまう。」

は、関係有りそうですか?

◎質問者からの返答

ご指摘の性質は承知しておりました。ある種の真空蒸着においては、たしかにガスを用います。Arもそのひとつです。しかしながら、少なからぬケースでは、単に真空中で蒸着を行います。したがって、決定的要因ではありえません。

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