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ULSIの光リソグラフィー関連です。
(1)変形照明ってなんですか?
(2)瞳フィルタってなんですか?
図とかあるとうれしいです。

●質問者: oyakata2438
●カテゴリ:コンピュータ 科学・統計資料
✍キーワード:フィルタ リソグラフ
○ 状態 :終了
└ 回答数 : 1/1件

▽最新の回答へ

1 ● stnet
●40ポイント

http://www1.ushio.co.jp/tech/le/le15/15_20.htm

変形照明のみですが

>変形照明は従来マスクに垂直に入射させていた光を、少し斜めから

>入射させることにより解像度と焦点深度を向上させたもの

とのこと

◎質問者からの返答

もうちょっと細かい解説が欲しいです。垂直入射ヨリ解像度、焦点深度が向上する理由も知りたいので。

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