人力検索はてな
モバイル版を表示しています。PC版はこちら
i-mobile

MRAMは、エピのプロセスなのですか?だとしたら、なぜエピなのかを教えてください。

●質問者: youkan_ni_ocha
●カテゴリ:学習・教育 科学・統計資料
✍キーワード:プロセス
○ 状態 :終了
└ 回答数 : 2/2件

▽最新の回答へ

1 ● hate218
●1ポイント

http://66.102.7.104/search?q=cache:Hfl-Sm5_H9MJ:strj-jeita.elisa...

チャネル厚さがエピ成長厚さで決まるため

◎質問者からの返答

単に平坦であればOKなのでは?


2 ● thrillseeker
●49ポイント

http://www.aist.go.jp/aist_j/aistinfo/aist_today/vol04_05/vol04_...

AIST Today 2004.5 VOL.4-5_topics

MRAM素子はバリア層と言われる薄い絶縁膜を電子が通過するトンネル効果で動作します。昔はバリア層にアルミナなどをスパッタで製膜したアモルファス膜を使っていましたが、URLにあるようにMgOのような単結晶膜を使うことで性能が飛躍的に上がることが最近分かりました。

◎質問者からの返答

絶縁層の結晶の方向性も特性に大きく影響するという認識でよろしいでしょうか。湯浅氏の論文を見ると、メタル層をエピにして、成長方向を変えると、シグナルが方向により大きく変化したというのは、電総研の古い論文で見ました。

関連質問


●質問をもっと探す●



0.人力検索はてなトップ
8.このページを友達に紹介
9.このページの先頭へ
対応機種一覧
お問い合わせ
ヘルプ/お知らせ
ログイン
無料ユーザー登録
はてなトップ