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固体材料の断面に沿った密度を測定したいのですが、何か適当な装置はありませんか。
できれば光学的な装置が最もですが、よろしく教えてください。

●質問者: chenruihua
●カテゴリ:学習・教育 科学・統計資料
✍キーワード:光学 装置 適当
○ 状態 :終了
└ 回答数 : 3/3件

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1 ● じゅげむ
●27ポイント

光学からは少しずれますが,X線を使ったXRRという測定方法で固体表面の密度評価ができます。

XRRは、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その入射角対鏡面方向に反射したX線強度プロファイルを測定します。この測定で得られた結果をシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を算出する手法です。

(財) MST - 材料科学技術振興財団 | XRR (X線反射率法) | 分析技術解説

測定装置はキヤノンやリガクが出しています。主に半導体プロセスでウェハの評価に利用されるようです。

キヤノン:半導体機器 膜厚測定装置 | JVX6200 概要

プロセスX線膜厚・密度測定装置 【リガク】

測定を請け負ってくれる企業がいくつかあります。

表面分析受託サービス XRR X線反射率測定 ナノサイエンス

X線反射率測定(XRR)などの表面分析受託サービス【ナノサイエンス株式会社】


2 ● yamadakouzi
●27ポイント

コメント欄が開いてませんので、コメント扱いでおねがいします。

「光学的な装置が最もですが」とありますが、その材料は無色透明でしょうか。ならば光の干渉が使えると思います。そうでなければ(透明でも)超音波装置を使えば可能でしょう。


3 ● yamadakouzi
●26ポイント

コメント欄が開いてませんので、コメント扱いでおねがいします。

「光学的な装置が最もですが」とありますが、その材料は無色透明でしょうか。ならば光の干渉が使えると思います。そうでなければ(透明でも)超音波装置を使えば可能でしょう。

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