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こんにちわ。知識をお持ちの皆様教えてください。

現在大学の研究で、炭化ケイ素(4H-SiC)の精密研磨(CMP)を行おうとしています。しかし、ぜんぜん削れません!
そこで、下の悩みを解消させてください!

1.CMPの特にスラリーで何か製品ってありますか?(何タイプかほしいです)
2.多分、SiCを酸化して削るんでしょうけど、酸化以外に方法はありますか?
3.共有結合は何故、酸化で切れるんですか?
4.他の共有結合材料はどのように薬品と反応して、溶けたりするんでしょうか?

それぞについて、わかる範囲でけっこうですので、ぜひ教えてください!お願いいたしますm(__)m


●質問者: TTBrownsuger
●カテゴリ:芸術・文化・歴史 科学・統計資料
✍キーワード:SiC こんにちわ ケイ素 タイプ ラリー
○ 状態 :キャンセル
└ 回答数 : 1/2件

▽最新の回答へ

1 ● thrillseeker

酸化クロムと過マンガン酸カリウムで結構削れるそうです:

http://sucra.saitama-u.ac.jp/modules/xoonips/download.php?file_i...

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