>create xxx
Server.CreateObjectとしていますか?
ASP(VBScript)の作法では、[Server.]とするべきだったと思います。
[IIS]ASP Server.CreateObject と CreateObject の違い
また
>set xxx = nothing
適宜、CloseするものはCloseもしましょう。
その他、何をCreateしていますか?
例えば、excelをaspからオートメーションで使用するのは推奨されていません。
また、excel以外にも、GUIを持つCOMコンポーネントを非表示で操作するようなことは避けた方がいいです。
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