http://www.sanwapump.co.jp/special/story/01_02.html
容積式だと思いますので、ギアーポンプが一般的です。二枚の歯車を噛み合わせたまま回転させて水車のように水を送ります。ギアーの軸の駆動はやはりエアーのギアー駆動が無難でしょう。単純で一番故障の少ない形式です。クラッチつけると調整しやすいぶん故障も増えます。エアー配管には非常バルブとバイパスと安全弁ぐらいはつけた方が無難でしょう。
参考になりました。
http://ww8.tiki.ne.jp/~esfcmasa/vacuum.html
こちらは如何でしょうか?
ベルヌーイの定理を利用してはいかがでしょう
・霧吹き
http://ph1.ed.hiroshima-u.ac.jp/kojima/ideacard/ideacard/ph2...
・でんじろう
http://www.ntv.co.jp/sekaju/student/20060902/03_0101.html
・吸塵機
http://www.geocities.jp/gwkmr527/torunedo.html
とても、参考になりました。