3年以上前だと思うのですが、海外の会社がシリコンの”熱伝導特性”を利用して水晶発振器並みの精度のシリコン発振器を発表していたと思うのですが、その情報が出ているサイトをご存知の方はいらっしゃいませんか?
確か、熱伝導速度と温度には相関があり、温度をモニターする事で熱伝導速度の高精度な校正をやっていたかと思います。あと、チップ写真では円周状に温度測定用の素子が並んでいて、中心に発熱用の素子があったと記憶しています。
MEMS発振器やLC発振器の情報では無く、あくまでこの熱伝導での高精度発振器の情報を調べています。