ULSIの光リソグラフィー関連です。

(1)変形照明ってなんですか?
(2)瞳フィルタってなんですか?
図とかあるとうれしいです。

回答の条件
  • URL必須
  • 1人2回まで
  • 登録:
  • 終了:--
※ 有料アンケート・ポイント付き質問機能は2023年2月28日に終了しました。

回答1件)

id:stnet No.1

回答回数804ベストアンサー獲得回数34

ポイント40pt

変形照明のみですが

>変形照明は従来マスクに垂直に入射させていた光を、少し斜めから

>入射させることにより解像度と焦点深度を向上させたもの

とのこと

id:oyakata2438

もうちょっと細かい解説が欲しいです。垂直入射ヨリ解像度、焦点深度が向上する理由も知りたいので。

2005/03/14 22:44:37

コメントはまだありません

この質問への反応(ブックマークコメント)

トラックバック

「あの人に答えてほしい」「この質問はあの人が答えられそう」というときに、回答リクエストを送ってみてましょう。

これ以上回答リクエストを送信することはできません。制限について

回答リクエストを送信したユーザーはいません