ULSIの光リソグラフィー関連です。

(1)変形照明ってなんですか?
(2)瞳フィルタってなんですか?
図とかあるとうれしいです。

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回答(1件)

id:stnet No.1

stnet回答回数804ベストアンサー獲得回数342005/03/14 22:38:03

ポイント40pt

変形照明のみですが

>変形照明は従来マスクに垂直に入射させていた光を、少し斜めから

>入射させることにより解像度と焦点深度を向上させたもの

とのこと

id:oyakata2438

もうちょっと細かい解説が欲しいです。垂直入射ヨリ解像度、焦点深度が向上する理由も知りたいので。

2005/03/14 22:44:37

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