例えば、基板ホルダーやステージを回転(φ100程度)させる機構を設計する場合、軸の長さを変えた時に回転ブレがどの程度出るのかをシミュレーションするにはどうすればいいか。(どういうシミュレーターがいいのか、一般的なシミュレーターで実現可能か?)なお、このへんの理論についても知りたい。

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  • 登録:2006/11/23 17:39:23
  • 終了:2006/11/30 17:40:03

回答(1件)

id:tetsu_fuji No.1

tetsu_fuji回答回数7ベストアンサー獲得回数02006/11/23 20:24:39

ポイント60pt

ども。質問の主旨が今ひとつ理解できないで困っています。

「軸の長さを変えると、回転ブレが変わる」と心配されているわけですね?

軸の先にステージが固定されているものをコマのように回すわけですね?

「回転ブレ」てえのは、回転軸の振れのことですか?それとも回転速度の偏差のことを云われているのか?

静的に考えれば、軸の振れなら、軸の長さに比例しちゃうでしょうし、回転速度の偏差は、軸の長さとは関係しないように思えますよね。

動的なシミュレーションを望まれているのですか?

想像するに、アプリケーションは、半導体製造のスピンコーターとかでしょうか?

逆質問ばかりで、答えてなくてごめんなさい。

機械工学的なシミュレーターについて勉強されたいのであれば:

http://www.tdupress.jp/cgi-bin/html.cgi?i=ISBN4-501-41540-1

というような本でいかがでしょう?

id:youkan_ni_ocha

質問が適切でありませんでした。例えば、工作機械のドリルの主軸を設計するとします。ドリルには、ドリルチャックとかつく訳ですが、これが、あまり大きい(重い)と、主軸を中心にコマのようにすりこぎ運動をすると思いますが(極端に言っています)、この動きを止める(問題ないレベルまで抑えるには、ベアリングをどう配置して、主軸の太さ、ドリルチャックの取り付け位置をどうするか等をシミュレートしたいという意味です。

2006/11/23 20:29:31

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